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刀具.jpg         星弧涂層所提供的磁控濺射濺射陰極具有平衡或非平衡的磁場設計,靶材的離化率和利用率優異,多跑道的設計可用于大批量工業生產,同時使得設備運營成本降低20%以上。
        磁控濺射陰極是標準系列產品,星弧也可根據客戶的具體需求而客制化設計和制造。

技術特點:


  陰極采用緊湊的矩形平面設計,磁場可沿單軸或雙軸運動  


  在單個圓柱形靶材上最多有三條等離子軌道


●  高達50%的靶材利用率 


●  配備星弧電源:DC,RF和中頻AC


  法蘭連接使得安裝和維修更便捷  

典型應用:


  切削工具,模具具的硬質涂層 


  玻璃,磁盤連續涂層


  研發用薄膜沉積  
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